蒸發濺射儀項目已具備招標條件。資金來源自籌資金。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物

1.2 招標編號：0779-21400316A006

1.3 設備技術性能：

1.3.1進樣室

（1）進樣室可放置5片直徑150mm的樣品，并可放置5個樣片支架；腔室前開門，易于裝載樣片；

（2）帶有樣品傳輸裝置，雙側線性傳輸臂，手動控制模式，熟練程度下，樣片從放入進樣室到傳入鍍膜主腔室的時間間隔不超過10分鐘。

1.3.2磁控濺射

（1）主泵與腔室之間帶有VAT高真空閥；在潔凈、干燥環境下，真空度需≤5×10E-7 Torr。

（2）系統需配備2個3英寸磁控濺射靶槍，濺射靶槍可靈活調節，根據用戶需求，可調節靶槍角度和最佳蒸鍍距離，以達到最佳蒸鍍效果。暗區屏蔽裝置高度低于靶材表面，減少對輝光區域的束縛，并降低靶材之外材料被同時濺射出來的幾率，靶材為卡箍式固定方式，方便更換和固定，配有緊湊式圓頂蓋濺射源擋板NdFeB磁陣組合。

（3）系統需配備1個3英寸磁性增強靶，升級版NdFeB磁陣組合，能夠沉積高達0.125英寸厚度的材料，支持非磁性材料和磁性材料工作模式的切換。

1.3.3電子束蒸發

（1）系統需配備國際一流品牌機械干泵，風冷，無接觸式，氣體抽速不小于21cfm；

（2）系統需配備冷凝泵，抽速不小于1500l/s，可通過設備程序遠程控制冷凝泵的自動再生，從室溫降溫到工作溫度時間不超過3小時。配備8200型氦氣壓縮機，10英尺長氦管；

（3）主泵與腔室之間帶有VAT高真空閥；在潔凈、干燥環境下，真空度需≤9×10E-8 Torr。

1.4 數量：1臺（套）。

1.5 交貨期：合同簽訂后11個月內交貨。

1.6 項目現場：中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。

2.3本次招標要求所投產品制造商2018年至今簽訂不少于2臺（套）磁控濺射系統或電子束蒸鍍系統供貨業績合同，提供合同復印件。

2.4 本次招標不接受聯合體投標。

2.5 投標人必須向招標代理機構

3. 招標文件獲取

3.1 支付成功后在航空工業電子采購平臺電子招投標專區自行下載招標文件。

3.3 投標人必須在航空工業電子采購平臺電子招投標專區注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見航空工業電子采購平臺電子招投標專區相關說明）。

4. 投標文件的遞交

4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2021年03月29日14時00分，投標人必須在此時間前將加密的電子版投標文件傳至航空工業電子采購平臺電子招投標專區（ /rest/index）并在此時間前現場遞交單獨密封的紙質版投標文件。

4.2 紙質版投標文件遞交地點為 大樓一層會議室。逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。

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