招標公告

1. 招標條件

本招標項目中束流離子注入機 該項目已具備招標條件，現對中束流離子注入機進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20250429A001

2.2 招標項目名稱：中束流離子注入機。

2.3 數量：1臺。

2.4 主要功能要求：本次購買的中束流離子注入機用于晶圓摻雜工藝。其原理是通過先將所需雜質電離，然后由電場引出，再通過磁場篩選，形成一個集中的離子束，最終注入到硅片中，達到摻雜目的。中束流離子注入機由氣源柜、離子源腔室、離子束腔室、工藝腔室、傳送模塊、操作控制模塊、廠務動力模塊等模組組成。

2.5 交貨

3. 投標人資格要求

3.1投標人須為具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照。

3.2業績要求：投標人需提供本次投標同型號或同系列的中束流離子注入機設備從2022年至今累計銷售量至少5臺并驗收合格的業績；須提供設備采購合同復印件，其內容須體現合同首頁及簽字或蓋章頁、合同簽訂時間、合同標的物名稱及其型號；同時提供驗收合格的證明材料。

3.3 其它要求：本次招標不接受代理商投標。

3.4本次招標不接受聯合體投標。

3.5投標人必須向招標代理機構

4.

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編輯：365trade