1. 招標條件

本招標項目等離子體去膠機 該項目已具備招標條件，現對等離子體去膠機進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20250101A006

2.2招標項目名稱：等離子體去膠機。

2.3 數量：1臺。

2.4 項目概述：等離子體去膠機（高溫）應用于半導體生產工藝中的光刻膠去除工藝，通過RF將O2/N2等離子化，然后與光刻膠發生反應生成CO2和水氣達到去除光刻膠的效果。其去膠的均勻性、工藝溫度控制及去膠速率為關鍵參數。

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同簽字生效后6個月內貨到用戶成都項目現場。

3. 投標人資格要求

3.1 投標人須為具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。

3.2提供制造商同類產品的業績證明，需在中國境內用戶1家及以上，2021年1月1日至今制造商同類產品銷售1臺及以上，提供可供查證的業績證明材料（需提供合同復印件的相關頁、合同簽訂時間頁或交貨時間頁或其它可以證明交貨時間的材料、簽字蓋章頁作為證明材料，以合同簽訂時間或交貨時間為準，合同內容需顯示制造商、用戶及產品信息，上述內容遮擋或無法清晰辨識的合同復印件不予認可）。

3.3本次招標不接受聯合體投標。

3.4本次招標接受代理商投標。若投標人為代理商，則需提供制造商針對本次投標設備出具的有效授權函，且同一品牌同一型號僅能委托一家投標單位參與投標。

3.5投標人必須向招標代理機構

4.

未在中國電力招標采購網（m.cccibqz.cn）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區根據招標公告的相應說明獲取招標文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機：18811547188
聯系人：李楊
QQ:1211306049
微信：Li18811547188
郵箱：1211306049@qq.com
來源：中國電力招標采購網
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。
編輯：365trade