日    期：2024年 12 月 12 日

招標編號：0722-244JT2881ZB7

項目名稱：硅刻蝕設備（重新招標）

受聯合微電子中心 委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024年 12 月 12 日發布招標公告。
本次招標采用國際公開招標方式，現邀請合格投標人參加投標。

1. 招標條件

1.1 項目概況：全新硅刻蝕設備1套 。

1.2 資金到位或資金來源落實情況:已落實。

1.3 項目已具備招標條件的說明：已具備。

2. 招標內容

2.1 項目實施

2)滿足以下要求：單晶硅、多晶硅以及介質材料氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、聚酰亞胺等的刻蝕腔，對下層材料如硅、氧化硅、氮化硅、金屬氧化物等等有較高選擇比。

2.3交貨時間：自合同簽訂后的6個月內完成設備發貨，入場后設備裝機與調試不超過60個工作日。

3.投標人資格要求

3.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

3.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。

3.3本次招標不接受轉包、分包或聯合體投標。

3.4應標型號設備2022年以來至今在國內8寸&12寸晶圓FAB廠的裝機數量不少于10臺，且需要提供證據證明（采購合同、驗收報告、客戶
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來源：中國電力招標采購網
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招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準。
編輯：mofcom